滨州市半导体光刻材料重点实验室由国科天骥（山东）新材料有限责任公司牵头，联合山东航空学院共建，聚焦半导体光刻材料领域的关键技术研发与产业化。实验室以KrF、ArF和ArFi光刻胶用高性能树脂、光刻抗反射涂层及旋涂碳涂层材料为核心研究方向，致力于突破国外技术垄断，实现高端光刻材料的国产化替代。
实验室拥有一支高水平的研发团队，固定人员42人，其中博士11人，硕士16人，并聘请中国科学院化学研究所杨国强教授等7位专家组成学术委员会指导科研方向。依托国科天骥的产业化优势与山东航空学院的科研支撑，实验室构建了“树脂研发-配方优化-中试生产-测试验证”的全链条创新体系，配备电感耦合等离子体质谱仪、曝光机等先进设备，总价值超3000万元。
建设期内（2025-2027年），实验室计划完成3款光刻胶树脂的工艺优化，开发3种国内领先的光刻胶样品，申请发明专利30项，发表SCI论文6篇，实现年产能220吨，产值3000万元。通过产学研协同，实验室将推动半导体光刻材料的技术革新与产业升级，为滨州市打造新材料产业集群提供核心支撑。
